应用行业：
- 半导体、太阳能、液晶面板制造设备
- 纯介质和特殊气体系统压力测星
应用流体：
- l 超高纯及有毒等特种电子气体
特点：
- l 可测真空压力，量程范围：0-7MPa
- l 测量精度可达±0.25% FS BSL；
- l 工作温度范围：-40~8（FC；
- l 硅压阻敏感元件，高稳定性，高可靠性；
- l 全316L不锈钢结构
- l 压力接头脱脂清洗，产品真空包装；
- l 快速响应时间，上电时间小于30ms;
- l 所有接液部分表面电抛光处理，符合EP Grade5；
- l 所有接液部分表面粗糙度不超过Ra 0.2；
性能指标
量程
0-7MPa表压之间任意选择
0-7MPa顚之间任誕择
*大过压
4xFS (2OMpa Max)
封堵压力
6xFS (2OMpa Max)
精度等级
±0.25%FS BSL （BSL*佳拟合直线）
温度影响
±15%FSTHB （TEB:温度误差带）
材质
316L不锈钢
供电电压
7~32Vdc
输出形式
4~20mA;V
工作温度范围
-40 ~ +80 C
木卜偿温度范围
-20 ~ +80C
频率响应
3.5KHZ
上电时间
<30ms
绝缘电阻
>100MQ@500VDC
长期稳定性
±0.1%FS 每年
压力介质
与316L不锈钢兼容的流体
零点允许误差
±1.0%FS
满量程允许误差
±1.0%FS
电气接口性能
编号
描述
*大工作温度范围℃
IP等级
零、满调整
7
DIN43650.可拆卸
-40~+80
65
是
G
M12*l四针
-40~+80
65
否
电气连接
| 接头类型 | 选项编号 | 电子产品选项 I | ||
| 4 - 20 mA | 电压1 | |||
| DIN, MicroDIN | 7,D | 1 | +ve供电 | +ve供电 |
| 2 | -ve供电 | 0V共地 | ||
| 3 | - | +ve输出 | ||
| E | 外壳 | 外壳 | ||
| M12*l四针 | G | 1 | +ve供电 | +ve供电 |
| 2 | - | +ve输出 | ||
| 3 | -ve供电 | 0V共地 | ||
| 4 | 外壳 | 外壳 | ||
